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硅表面钝化技术
采用的化学蒸汽沉淀法是一种全新的涂覆技术。在特制的炉中放置所需处理的部件，导入技术的气体。主要特点是这种气体可以渗透到曲折的管道内部并提供很薄的均匀涂覆，即使复杂的形状完成均匀的涂覆。
特 点
化学钝性
超高耐腐蚀能力
耐高温 韧性好
涂覆层厚1微米
适应各法规分析方法，与特种合金材料相比，大大降低成本
应用领域
石油化工、油气勘探
半导体、 航天自动化
分析技术 、气体制造
环境监测采样
活性j性强以及强酸、强碱气体
典型应用
进样系统：高纯度气体、腐蚀性气体、微量氧、氮、水等进样
连接部位：高压气体、有毒有害气体的密封
阀门：选用钝化阀门，避免浪费昂贵气体，排除对氧、氮、硫化氢、氯气等活泼性气体产生的分析误差
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